準分子激光精密加工系統
產品描述
該準分子激光精密加工系統是以紫外、深紫外波段激光配合定制化的光路整形系統，可應用于較多領域。
產品特點
- 激光器穩定、壽命長
- 加工精度高
- 高精度運動平臺
- 平頂均勻分布光斑
- 適合多種半導體工藝
- 高度自動化集成
系統參數
| 波長 | 193nm、248nm、355nm |
| 功率 | 60w |
| 重復頻率 | 200Hz |
| 系統精度 | ±3μm |
產品應用
- LED/OLED wafer劃線/燒蝕/剝離
- 生物醫學微電路加工
- 聚合物噴墨嘴加工
- 陶瓷微流器件加工
- 太陽能電池薄膜加工
樣品展示
- 材料：LED & OLED面板
- 加工速度：＞150mm/s
- 用途：晶圓切割、劃線、剝離、燒蝕
上一篇：無
下一篇：無
